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离子研磨仪的特性及应用

发布时间:2022-03-22浏览:232
离子研磨仪的特性及应用
离子研磨仪是高质量的SEM样品制备台式精密仪器,满足几乎所有材料应用的样品制备。离子研磨仪是通过物理科学技术来增强样品表面特性,使用惰性气体中具有代表性的氩气作为气源,通过加速电压使其电离并撞击样品表面,在控制的范围内,通过这种动量转换的方式,氩气离子去撞击样品表面从而得到无应力损伤的理想的SEM观察样品。

离子研磨仪的真空舱体保证了设备操作过程中持续真空,预真空锁使真空舱体与外部环境隔离,保证了样品转移过程中极佳的真空环境。小尺寸的样品在后期维护中清理也更加简便。

多层OLED器件结构较为复杂,在有机与无机材料层界面间容易产生内应力,导致在弯曲时造成层与层间的剥离,这使得生产大尺寸柔性OLED面板时的良品率极低,日立的离子研磨仪IM4000的截面加工效果优异,独特的离子束汇聚离子枪设计及样品摆动设计,加工效率高,低损伤的特点,实现对OLED截面观察有效的监控产品的合格率。


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