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表面观察: 超高分辨场发射扫描电子显微镜; 扫描电子显微镜; 原子力显微镜

膜层测量: 硬质涂层测量系列; 便携式X射线残余应力分析仪; 表面粗度测定机; 镀层厚度测量; 超高速分光干涉膜厚仪

材料特性分析: 热分析和粘弹性设备; 热常数分析仪; 纳米压痕仪; 划痕测试仪; 自动化多用途粉末 X-射线衍射仪

样品前处理: 离子研磨仪

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