配备低噪音冷场发射电子枪，可以获得高稳定的束流。
通过优化电子光学系统，在1 kV条件下分辨率提高到0.7 nm或 0.8 nm。
为充分发挥超高分辨的能力，放大倍率也从过去的100万倍提升到200万倍。
还完善了用户支持功能，通过此功能用户更容易理解各种复杂信号的检测原理，帮助用户充分发挥仪器的最佳性能。