表面观察
膜层测量
材料特性分析
样品前处理
更新时间:2022-04-02
以非接触方式测量晶圆等的研磨和抛光工艺,超高速、实时、高精度测量晶圆和树脂。
SF-3系列分光干涉式膜厚仪可以对碳化硅、硅、氮化镓、蓝宝石等多种材料的厚度进行监测,也可以配备不同的mapping平台测量TTV(total thickness variation)。对比传统的位移计和探针式测量,SF-3在精度和效率上拥有明显的优势。
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