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常见的膜厚测试方法有哪些

发布时间:2022-03-22浏览:310

常见的膜厚测试方法有哪些,常容电子为您介绍:

1、金相测膜厚度

设备:金相显微镜
此方法适用于测量厚度>1μm的金属膜层,可同时测量多层;
被测样品需要经垂直于待测膜层取样进行金相制样,再在金相显微镜下观察并拍照测量待测膜层厚度。

2、SEM测膜厚度
设备:为扫描电子显微镜(SEM)
此方法测试范围宽,适用于测量厚度0.01μm~1mm的金属或非金属膜层;
样品前处理与金相测厚相同,配有能谱附件(EDS)的SEM设备可以确定每一层膜层的成分。


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